日本半導體檢測設備制造商正在積極進行設備投資。東京精密在埼玉縣飯能市新設工廠，将于2023年7月投産。投資額接近200億日元。将增産通過向半導體晶圓傳送電信号來檢測是否存在不合格品的設備。生産同一領域檢測設備零部件的日本邁克尼斯也投資約135億日元，在青森縣和韓國首爾近郊的富川市新設工廠。随着制作超微細半導體電路的技術、将多個半導體堆疊起來的技術、純電動汽車用功率半導體等技術的發展，高性能半導體檢測設備的需求不斷增加。